主要技術指標 |
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測量參數(shù) |
Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk |
最大測量長度 |
25mm |
直線度測量精度 |
0.4μm |
濾波器 |
高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996),RC濾波器 |
截止波長 |
0.25,0.8,2.5 |
測量重復性 |
4% |
相對示值誤差 |
±7% |
示值穩(wěn)定性 |
4% |
測量長度 |
λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm) |
測量范圍 |
640μm |
分辨率 |
0.001μm |
測量速度 |
0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s |
返回速度(自動) |
1mm/s |
傳感器針尖 |
2μm;5μm鉆石、測量力1mN;4mN |