粗糙度儀如何選型?
1941年英國(guó)Taylor-Hobson公司成功研制出全世界第一臺(tái)表面粗糙度測(cè)量?jī)x,參與國(guó)際粗糙度標(biāo)準(zhǔn)制定。
如果正確地選取適合于自己測(cè)量要求的粗糙度儀型號(hào)呢?需要考慮的因素有以下幾點(diǎn):
1. 測(cè)量應(yīng)用行業(yè)。此項(xiàng)決定于選取接觸式或非接觸式類型,比如:計(jì)量院所、金屬五金加工、模具制造、軸承、玻璃、汽車零部件、光學(xué)行業(yè)多選取接觸式類型。半導(dǎo)體、材料分析、材料特別軟一般選取非接觸式類型。
2. 測(cè)量精度要求。即測(cè)量結(jié)果的不確定度是多少?此項(xiàng)非常重要,主要決定于傳感器的分辨率的高低、硬件部分的精度指標(biāo)、探針的類型及測(cè)頭的半徑、使用環(huán)境的要求等。
3. 被測(cè)工件表面輪廓的峰谷落差。此項(xiàng)決定與傳感器量程范圍的大小;被測(cè)量工件的長(zhǎng)度和高度。此項(xiàng)決定于儀器X方向的行程(測(cè)量行程)和Z方向的高度。
4. 測(cè)針接觸力。此項(xiàng)影響在測(cè)量時(shí)測(cè)針對(duì)工件表面的劃傷程度。
5. 分析的參數(shù)、濾波類型和截止波長(zhǎng)。
(1)分析的參數(shù)的類型有:Primary、Roughness、Rk、Waviness、R&W、Aspheric等。
(2)濾波的類型有:Gaussian、 ISO 2CR 、2CR PC
(3)截止波長(zhǎng):0.08mm、0.25mm、0.8mm、2.5mm、 8mm
6. 分析類型。是單一的粗糙度分析?還是需要計(jì)算輪廓尺寸?被測(cè)工件表面是直線還是圓弧?
7. 粗糙度分析線的類型有:Ls Line(最小二乘法直線)、Ls Arc(最小二乘法圓。Mz Line(最小區(qū)域法直線)
8. 分析結(jié)果和圖形是否需要打印?
9. 是簡(jiǎn)單經(jīng)濟(jì)型?還是多功能型?自動(dòng)化程度高低?用來(lái)批量檢測(cè)還是生產(chǎn)過(guò)程中抽檢?
10. 公司以后的發(fā)展及測(cè)量要求。
Taylor-Hobson粗糙度輪廓儀的型號(hào)有以下幾種:
(1). 用來(lái)簡(jiǎn)單測(cè)量單一粗糙度的儀器:Surtronic Duo,可測(cè)量Ra, Rz, Rt, Rp, Rv五個(gè)參數(shù)
(2). 經(jīng)濟(jì)型便攜式的儀器:Surtronic 25,可以測(cè)量粗糙度、波紋度、未濾波等參數(shù);測(cè)量結(jié)果和圖形可以打印
(3). 經(jīng)濟(jì)型粗糙度輪廓儀:Form Talysurf Intra,高分辨率;可以測(cè)量粗糙度、波紋度、未濾波等參數(shù)和計(jì)算輪廓尺寸;測(cè)量結(jié)果和圖形可以打;半自動(dòng)方式;測(cè)量結(jié)果和圖形可以打。欢喾N配置供選擇
(4). 全自動(dòng)粗糙度輪廓儀:Form Talysurf Inductive,高分辨率;可以測(cè)量粗糙度、波紋度、未濾波等參數(shù)和計(jì)算輪廓尺寸;測(cè)量結(jié)果和圖形可以打;全自動(dòng)方式;多種配置供選擇
(5). 全自動(dòng)粗糙度輪廓儀:Form Talysurf PGI,高分辨率;大范圍同時(shí)測(cè)量分析粗糙度、波紋度、未濾波等參數(shù)和計(jì)算輪廓尺寸;測(cè)量結(jié)果和圖形可以打;全自動(dòng)方式;多種配置供選擇
(6). 接觸、非接觸式綜合方式粗糙度輪廓儀Talysurf CLI:主要特點(diǎn)可進(jìn)行接觸或非接觸三維測(cè)量;強(qiáng)大的三維分析軟件;可配置電感接觸測(cè)頭、激光測(cè)頭或光學(xué)共聚焦測(cè)頭;多種配置供選擇
(7).三維非接觸形貌儀采用Talysurf CCI:干涉原理,可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,并計(jì)算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器件,半導(dǎo)體器件,光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。分辨率: 0.1 A=1/100nm;RMS重復(fù)性極高:0.03A;多種配置供選擇
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